目前國(guó)內(nèi)的干涉顯微鏡主要是由上海光學(xué)儀器一廠生產(chǎn)的，型號(hào)為6KA，它的工作原理就是光源通過(guò)聚光
鏡，干涉濾光片在經(jīng)過(guò)另一個(gè)聚光鏡，然后射到反光鏡上，隨后通過(guò)孔徑光闌和視場(chǎng)光闌，經(jīng)過(guò)聚光鏡
投射到分光板把投射的光束分成兩部分，一部分是透過(guò)，一部分是反射。
透過(guò)的光束經(jīng)過(guò)補(bǔ)償板被物鏡聚焦到被測(cè)樣品的表面。最后被表面反射通過(guò)物鏡和補(bǔ)償板，到分光板上。
另一部分的光速?gòu)姆止獍宸瓷涞轿镧R，再到參考鏡，經(jīng)過(guò)參考鏡的反射，重新到分光板。
兩部分的光束相遇后發(fā)生干涉，可以形成鮮明的干涉帶，通過(guò)調(diào)節(jié)反光鏡，將它移動(dòng)目鏡的焦平面上，
這樣我們就可以通過(guò)目鏡觀察干涉帶及被測(cè)物體的影像了。
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