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電子工業(yè)中小型化趨勢材料顯微鏡研究（之一）
如今的電子工業(yè)中，其在對小型化的趨勢已經(jīng)
受到很多年的關(guān)注，不過這樣的趨勢在過去幾年
中，對光學(xué)和力學(xué)領(lǐng)域的影響較大，
這種情況主要是將機械系統(tǒng)進行轉(zhuǎn)換，將其系
統(tǒng)已經(jīng)小型化到了微米尺寸，這類情形可以在半
導(dǎo)體的制造研究中找到，
如果說其在對硅結(jié)構(gòu)進行精細處理，利用專門
知識來在生產(chǎn)方面進行相關(guān)設(shè)備的配備，
現(xiàn)在，多數(shù)微機點系統(tǒng)中使用的都是電子和光
學(xué)，以及機械性能方面的組件構(gòu)成的，還有微光
機電系統(tǒng)也是這樣。
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